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LDI-I30圖形曝光最小解析度達L/S 30/30μm，對位精度＜±12μm，實現AIPC產品圖形高精度曝光
具備多元漲縮補償模式及多分區分割加工能力，最大分割可達48分區
連線效率高達7~8PNL/分鐘，實現高效率加工
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